2024年12月3日，东莞宜安科技科研项目获得政府补助，该项目课题为高性能非晶合金反射镜关键材料。补助由广东省财政厅拨付给松山湖材料实验室，再由松山湖材料实验室将部分补助转拨给公司。 2021年6月28日，中科院旗下的中科科美成功研发出镀膜精度控制0.1nm以内的直线式劳埃透镜镀膜装置及纳米聚焦镜镀膜装置，距离ASML现有EUV的反射镜镀膜精度0.05纳米以内的水准已经十分接近，满足了长春光机所对反射镜面镀膜的需求。中科科美研发的镀膜装置送到长春光机所后，我国立刻制造出了EUV级光刻机级别的高精度弧形反射镜系统。2021年9月结题的《六镜极紫外光刻投影物镜研发与验证》证实我国突破了高精度弧形反射镜系统。
用户18xxx31
高科技感觉离我们很近，实际又离我们很远，因为太难想象和理解了