光刻机技术很难突破吗?光刻机技术确实难突破。它被誉为“现代工业皇冠上的明珠”，

听莲芹声 2025-12-19 09:59:34

光刻机技术很难突破吗? 光刻机技术确实难突破。它被誉为“现代工业皇冠上的明珠”，是芯片制造最关键设备，决定了半导体产业链的“天花板”。 难就难在它需要无数顶尖技术协同。比如极限精度方面，要把纳米级图案“印”在硅片上，光的波长极短，定位精度误差不能超几个纳米，镜片表面误差要控制在原子级别，任何小误差都会让芯片报废。EUV光源也很难产生，要把锡滴悬空喷射，用激光两次击中炸出等离子体才行。 目前全球仅ASML有EUV光刻机制造技术，还不卖给中国。光刻机三大核心系统里，国内华卓精科已实现双工作台商业化生产，但投影物镜系统仍是最难攻克的。

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