光刻机产业链，核心个股全梳理(附股)
一、整机制造
1、上海微电子（未上市）：国内唯一具备光刻机整机研发能力的企业，承担国家重大科技专项，SSA600系列光刻机可用于90nm制程，正在攻关更先进技术。
2、上海电气：通过参股上海微电子间接布局光刻机产业链，提供高端装备制造支持。
3、张江高科：作为上海集成电路产业园区开发主体，通过资本纽带参与光刻机产业链投资。
二、核心部件
（一）光源系统
4、茂莱光学：专注精密光学元件，为光刻机提供透镜、棱镜等核心光学组件。
5、福晶科技：全球领先的LBO/BBO晶体供应商，激光光源关键材料提供商。
6、永新光学：显微光学龙头，参与国家"极大规模集成电路制造技术"专项。
7、波长光电：激光光学元件供应商，产品应用于光刻机激光传输系统。
8、科益虹源：中科院背景，国内首台高能准分子激光器制造商，光源国产化核心企业。
（二）物镜系统
9、赛微电子：通过收购瑞典Silex掌握MEMS工艺，为光学系统提供微纳制造技术。
10、奥普光电：长春光机所旗下企业，承接国家02专项光刻机光学系统课题。
（三）控制系统
11、电科数字：中国电科旗下工业控制系统平台，参与光刻机运动控制模块开发。
12、华中数控：高端数控系统供应商，技术可延伸至光刻机精密控制领域。
（四）光学器件
13、腾景科技：精密光学元件供应商，产品应用于光刻机光路系统。
14、炬光科技：高功率激光器件龙头，为光刻机提供激光光学解决方案。
15、苏大维格：纳米压印光刻技术储备，参与裸眼3D光场显示等项目。
16、晶方科技：晶圆级光学封装技术领先，与光刻工艺协同发展。
（五）结构件与材料
17、富创精密：半导体设备精密零部件核心供应商，客户包括国内外头部设备商。
18、新莱应材：高纯不锈钢材料龙头，产品用于半导体设备真空系统。
19、华亚智能：专业半导体设备结构件制造商，客户覆盖AMAT、Lam等。
（六）温控系统
20、同飞股份：工业温控专家，半导体设备专用温控方案提供商。
21、海立股份：压缩机技术延伸至半导体设备精密温控领域。
三、辅助设备
22、蓝英装备：半导体清洗设备供应商，技术可延伸至光刻机洁净系统。
23、美埃科技：洁净室空气净化专家，为光刻环境提供超净解决方案。
24、安达智能：流体控制设备供应商，产品用于光刻胶涂覆等环节。
四、产业链配套
（一）上游材料
25、南大光电：ArF光刻胶通过验证，打破国外垄断。
26、晶瑞电材：g/i线光刻胶量产，KrF胶完成中试。
27、清溢光电：掩膜版领域国内龙头，配套光刻工艺。
（二）中游设备
28、芯源微：涂胶显影设备国内唯一供应商，与光刻机联动作业。
29、中微公司：刻蚀设备国际领先，技术协同推进整体产线国产化。
（三）下游制造
30、中芯国际：国内最大晶圆厂，光刻机核心用户，推动设备验证。
31、华虹半导体：特色工艺龙头，成熟制程光刻机重要采购方。
四、科研支撑
32、长春光机所（未上市）：国家光刻技术研发核心单位，承担多项02专项课题。
33、上海微电子装备集团（未上市）：整合高校院所资源，构建光刻机产学研体系。
