让中国光刻机“变成废铁”，日本对华下狠手，外媒：比美国人还绝 当全世界都盯着美国卡 EUV 光刻机的脖子时，日本早把矛头对准了中国芯片厂正在运转的上千台 DUV 光刻机，用一套 “软刀子” 战术，试图让这些价值数亿的设备慢慢变成废铁。 这种狠劲藏在最日常的生产细节里，国内某晶圆厂的工程师最近就遭遇过棘手情况，一台尼康浸没式 DUV 光刻机的激光器组件到了寿命，换个新件本是常规操作，以往日本原厂一周内就能搞定。 可现在提交申请后，得到的只有 “正在审查” 的无限循环，这台机器就因为一个小零件，在产线上停摆了一个多月，直接导致当月良率跌了 3 个百分点，损失近千万美元。这就是日本策略的阴险之处，不直接禁售设备，而是卡死维修、备件和技术服务的命脉。 2023 年日本出台的出口管制清单里，23 种半导体设备被纳入严管，对华出口从备案制改成了逐案审批，东京威力科创这类核心厂商更是干脆切断了远程技术支持。 要知道，DUV 光刻机有上万个精密零件，日常运行离不开软件调试和参数优化，以前线上就能解决的小故障，现在得靠工程师自己摸索，停机时间一长，生产节奏全被打乱。 更要命的是耗材卡脖子，信越化学、JSR 这些日本企业垄断了全球 90% 以上的高端光刻胶，2023 年 6 月信越就以 “原料不稳” 停供 KrF 光刻胶，后来干脆延长审批时间，还逼着企业签苛刻的用途承诺书，让工厂时刻活在 “断炊” 的焦虑里。 美国的禁令盯着 “增量”，不让中国拿到更先进的设备，而日本专攻 “存量”，要瘫痪支撑汽车、消费电子的 28 纳米及以上成熟制程。他们太懂产业链的命门了，知道光刻机再先进，没备件、缺耗材、少服务，迟早会变成一堆昂贵的废铁。 可这招 “杀敌一千” 的背后，是 “自损八百” 的代价。中国曾是日本半导体设备最大的买家，2022 年占其出口额的三成，尼康 2023 年光刻机业务近三成营收来自中国，限制加码后，尼康和东京威力科创的在华订单暴跌，股价跟着剧烈波动，有高管私下说 “失去中国市场就像断了一条腿”。 没想到的是，这种极限施压反倒成了国产替代的 “催化剂”。上海微电子的 28 纳米浸没式 DUV 光刻机在 2024 年底交付了首台样机，虽然稳定性还在优化，但套刻精度能控制在 8 纳米以内，良率稳定在 80% 以上，国产化率更是达到 85%，单台成本比进口设备低四成。 光刻胶领域，南大光电的 ArF 光刻胶通过中芯国际验证，2025 年拿到百吨级订单，国内市场份额冲到 20%-30%，直接让 JSR 对华销量下滑 12%。现在国内晶圆厂的国产设备采购占比已经达到 28%-32%，刻蚀、清洗等环节的国产化率甚至突破了 30%。 产业链的心态也彻底变了，华为明确了 “全链条替代” 目标，宁德时代这类下游巨头开始向上游投资，而中国对镓、锗的出口管制，也让全球产业链感受到了反向制约的力量。 日本的 “软刀子” 还悬着，但中国的 “备胎” 盾牌已经初步成型。这场博弈远没结束，可越来越多的迹象显示，日本想让光刻机变废铁的狠招，最终可能加速一个全新的全球半导体格局到来。 总的来说，这场封锁战还在继续，日本下手重，外媒直呼绝情。科技自主成关键，中国得靠自己破局，日本企业也得权衡利弊。 信源：中国新闻网
