光刻机“羲之”概念梳理 光刻机“羲之”的落地为我国半导体研发提供了自主可控的关键

木头婉 2025-09-02 07:33:26

光刻机“羲之”概念梳理 光刻机“羲之”的落地为我国半导体研发提供了自主可控的关键装备，是中国高端半导体核心装备国产化的重大突破。光刻机羲之概念人气龙头代表：东方中科、龙图光罩、波长光电等等。

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