纯国产光刻机产线首次贯通！ 芯片“卡脖子”环节实现历史性突破。 7月24日，振奋

纯国产光刻机产线首次贯通！ 芯片“卡脖子”环节实现历史性突破。 7月24日，振奋人心的一刻！ 国内首条自主可控光刻机整机产线完成通线验证，这意味着我们在光刻机整机技术上取得了重大进展。众所周知，光刻机是半导体制造的核心设备，被誉为“半导体工业皇冠上的明珠”，其技术水平直接决定着一个国家半导体产业的竞争力。 该产线实现全链条自主可控，首批产品5nm良品率已经达到70%-75%。该产线将服务于28nm及以上制程节点，并不局限于某一特定制程，这意味着在不受国外技术封锁的情况下，光刻机整机会根据国内需求进行灵活扩产。 这个光刻机整机项目历时五年，获得了跨越式发展。通线后首批产品的良率已经从60%提高至92%，甚至有望继续提升。 中芯国际、华虹等国内晶圆厂将直接受益于国产光刻机整机技术的突破，依托自主光刻机整机技术取得的先发优势，设计公司也能够更快地将新品推向市场。 年内28nm光刻机产线将启动小批量交付，14nm光刻机验证机也正在调试中，EUV光源预研项目也在推进，预计2030年前完成实验室验证。这一切都在说明，核心技术必须牢牢掌握在自己手中。 继成功实现28nm光刻机量产之后，我们有理由相信，在国家的大力支持下，在同行的共同助力下，晶晨有望在EUV光刻机的攻关之路上走出成功的先行之路。 ［免责声明］素材、图片均来源网络，如有侵权请及时联系删除。