据三星证券称，CXMT将在16nm上推出HKMG，为了改善栅极泄漏电流，利

高旭的世界 2025-01-20 11:25:48

据三星证券称，CXMT将在 16nm 上推出 HKMG，为了改善栅极泄漏电流，利用高K介质材料代替常规栅氧SiON和金属栅代替多晶硅栅的工艺称为HKMG工艺技术。中微的新蚀刻工具与国际供应商相媲美，Lead Micro、北方华创宣布他们已经为 HKMG 开发了 ALD 和 CVD 设备（9 个月前）存储器领域进展迅速。

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