上海微电子（SMEE）最近申请了一项关键的EUV光刻机专利，我们在研发自己的高端

科技马句 2024-12-14 11:36:57

上海微电子（SMEE）最近申请了一项关键的EUV光刻机专利，我们在研发自己的高端芯片制造设备又进了一步。不过，短期内实现量产还有很大难度，但这确实是迈向芯片制造自主化的重要一步。目前EUV技术被荷兰的ASML垄断。

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